郑科探   小型溅射仪溅射方法

      郑科探小型溅射仪（KT-Z1650PVD）溅射方式是调动靶材内磁场，使金属离子轰击到样品表面的镀膜方式。目前只能支持金属靶材。已经测试过的靶材有金、银、铜、铬、镍、铝、以及部分合金(镍铁合金)。靶材正常是2mm，不带磁性的话，最多5mm，带磁性的不要超过2mm，否则会有干扰。

以下是对一些特殊金属镀膜要求:

铜：正常颜色为蓝绿色，或灰色偏绿。

铝:镀铝推荐使用高真空分子泵。真空时间抽长一些，测试时间60s，电流500，真空度3-5pa，等电压上升到250以上时，可以调小电流，调小真空，白光镀不上，正常颜色为红色。

铬:靶材厚度 0. 5mm 左右

镍：靶材厚度2mm，5 建议真空度为2-3pa，建议电流为200-300ma，真空度不能太高   电流不要太大。

钛：真空度示数要低，功率要高，建议500ma，时间60.正常溅射为绿色，出现白色辉光时   电压正常，但是镀不上，需要注意。

常见问题:     1、有电流，没电压，是短路。

                    2、电压直接到1000v，真空度过高，加大氩气量。