CS数字式气体质量流量控制器

产品型号

CS230A

产品类型

大流量型,高精度型,快响应型,数字型,抗电磁干扰

流量量程

50slm,100slm,150slm,200slm,250slm,300slm

产品精度

±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤2sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene

输入输出信号

(0~5)VDC,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet

电源

±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

阀类型

- 无 -

温度系数

Zero ≤±0.02% F.S./℃

零点飘移指标

＜0.6%F.S. per year without autozero

电气连接

D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围

(0.15～0.35) MPa （50slm≤F.S.＜150slm）,(0.20～0.35) MPa （150slm≤F.S.≤250slm）,(0.25～0.40) MPa （250slm≤F.S.≤300slm）

漏率

1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

VCR1/2”,双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10,双卡套3/8”

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

CE

重量

2.6Kg