CS200A系列数字式质量流量控制器.高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
产品型号:CS200-A型产品系列:CS系列数字式质量流量控制器产品类型:高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
零点: ≤±0.05% F.S/℃;
调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM;
调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格>30SLM
数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
型号
CS200-A
阀类型
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭
无
流量规格(N2)
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性
±0.5% F.S.
重复精度
±0.2% F.S.
响应时间
≤ 1sec
工作压差范围
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM
<0.02 MPa
温度系数
耐压
3MPa
漏率
1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料
氟橡胶;
工作环境温度
(5~45)℃
输入信号
输出信号
零漂
在没有零点校正时<0.6%F.S/年
电源
±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)
表面化学成分
常态
表面粗糙度
25 Ra
标准接头形式
双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;
电源接头形式
D型9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头
重量
1 Kg
0.8Kg
注意 :
气体质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为:
SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度 —— 273.15K ( 0°C );
气压 —— 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心,单位 SCCM 和“mL/min,0°C,1atm”等同,单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm”等同。F.S. (Full Scale):满量程值;S.P.(Set Point): 设定点值