D07系列大量程气体质量流量控制器

D07-60B气体质量流量控制器 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

D07-60B 气体质量流量控制器
产品型号：D07-60BM
★   高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型

★   橡胶密封   模拟电路的MFC

★   国际标准机械接头

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为:   SCCM   (标准毫升/分);

　　　　　　　　　　　　SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:温度 ---   273.15K   ( 0℃ );

             气压 —   101325 Pa   (760mm Hg)

在七星电子MFC/MFM产品中，单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S. (Full Scale): 满量程值