D07系列质量流量控制器

D07-7C型 质量流量控制器
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7B型的更新换代型
★管状分流   使用寿命长
用途:质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为:   SCCM   (标准毫升/分);

　　　　　　　　　　　   SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:温度 ---   273.15K   ( 0℃ );

             气压 —   101325 Pa   (760mm Hg)

在七星电子MFC/MFM产品中心，单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S (Full Scale): 满量程值