产品用途:
PC在线气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强,阀门采用高压球阀做截止阀,气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术资料:
产品型号
KT-PCS4Z
KT-C4ZS
控制方式
PC软件在线控制
7寸触摸屏智能调节
产品类型
低零漂及温漂型/超高精度型/数字PC控制/快响应型/
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
可选量程
5sccm-50slm(气体量程根据客户需要可选)
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
产品精度
±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S
重复精度
±0.2% FS
线性
±0.5% F.S.
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
响应时间
高精度型≤2sec
普通型≤4sec
工作温度范围
(5~45)°C
供电电源
~85-265VAC 50/60Hz
最大功耗
40W
进气口压
≤0.6MPa
连接管道
316不锈钢管道
截止阀类型
手动截止阀
单向阀开启压力
0.02Mpa
压力显示量程
0-0.6Mpa机械压力表
时间设定
0-32000分钟
通信口
USB-485
程序控制
多段程序控制上位机软件控制
5段可编程序(时间-流量随意设定值)
气体转换
有(可更换气体并设置气体系数)
压力显示
不锈钢机械压力表
气体混合罐
有(内部添加扰流挡片混合均匀)
气体加热
无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温-350℃可调)
可选进出气口接头形式
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
抗电磁干扰
有
外形尺寸
550X380X400